מוליכים למחצה ואלקטרוניקה
חדרים נקיים לשבבים ואלקטרוניקהISO Class 3–5
ולידציה ובדיקות חדרים נקיים עבור תהליכי ייצור שבבים, PCB ואלקטרוניקה רגישה — ISO Class 3–5 עם פילטרי ULPA ושליטה קפדנית על חלקיקים.
סיווג ISO לתעשיית השבבים
תהליכי ייצור שבבים שונים דורשים רמות ניקיון שונות. Pure Air Projects מבצעת ולידציה לכל הרמות.
| סיווג ISO | ספירת חלקיקים | שימוש | פילטר |
|---|---|---|---|
| ISO Class 3 | ≤1,000 חלקיקים/מ"ק (≥0.1µm) | ליתוגרפיה, כתיבת מסכות, פוטוליתוגרפיה | ULPA U17 |
| ISO Class 4 | ≤10,000 חלקיקים/מ"ק (≥0.1µm) | שלבי עיבוד ואתיג'ה מתקדמים | ULPA U15/U16 |
| ISO Class 5 | ≤100,000 חלקיקים/מ"ק (≥0.1µm) | הרכבה, בדיקות, ציפוי, Wire Bonding | HEPA H14 / ULPA U15 |
| ISO Class 6–7 | ≤1,000,000 חלקיקים/מ"ק | אריזה, בקרת איכות, אחסון | HEPA H13/H14 |
שירותינו לתעשיית המוליכים למחצה
סיווג חלקיקים ISO 14644-1
ספירת חלקיקים בגדלים 0.1µm, 0.2µm, 0.3µm ו-0.5µm בהתאם לדרישות ה-FAB.
בדיקות ULPA Integrity
בדיקת שלמות פילטרי ULPA U15/U16/U17 — הכרחי עבור ISO Class 3–4.
מדידות ESD וניטור
בדיקת הארקה, ionizer performance ו-Electrostatic Discharge Control.
מיפוי זרימות אוויר (Velocity Mapping)
מדידת מהירויות ואחידות זרימה לאורך כל שטח ה-FAB לזיהוי נקודות כשל.
ניטור שוטף ISO 14644-2
תכנון ויישום תוכנית ניטור שוטף לחדרים בסיווג ISO Class 3–5.
Airflow Visualization
הדמיה ויזואלית של דפוסי זרימה לאיתור turbulence בסביבות הרגישות ביותר.
תקנים ומפרטים
ISO 14644-1ISO 14644-2ISO 14644-3SEMI S2SEMI S14EN 1822 (ULPA)IEC 61340 (ESD)IEST-RP-CC007
צריכים ולידציה ISO Class 3–5?
Pure Air Projects מחזיקה ציוד מדידה מכויל לספירת חלקיקים זעירים ומתמחה בסביבות FAB מורכבות.